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勻膠機(jī)

更新時(shí)間:2023-11-12

簡(jiǎn)要描述:

我研究室生產(chǎn)的KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型、KW-5型和KW-4T型。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介 

我研究室生產(chǎn)的KW-4A、KW-4T型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。 

勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)及要求:
基片尺寸: Φ 5 Φ 100mm 圓片,*大 100 × 100mm 2 方片
轉(zhuǎn)速: 25 0 9 000RPM
旋涂設(shè)置:任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性: 1%
旋涂均勻性: 1
旋涂工藝階段: 6 段
旋涂時(shí)間:?jiǎn)尾焦に?0 180 0s 可根據(jù) 客戶需求 調(diào)節(jié)
整機(jī)尺寸( 長(zhǎng)寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機(jī)尺寸 長(zhǎng)寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機(jī)功率: 40W
適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵參數(shù):
型號(hào): K W 550A/KW 550T
抽速: 1 .5 升 秒
功率: 3 20W
噪音: 50db
*低真空度: 700mmHg
重量: 7.3 Kg
尺寸 長(zhǎng)寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min

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