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中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

更新時間:2023-11-12

簡要描述:

我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型、KW-5型和KW-4T型。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A、KW-4T型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。 

技術參數及要求:
基片尺寸: Φ 5 Φ 100mm 圓片,*大 100 × 100mm 2 方片
轉速: 25 0 9 000RPM
旋涂設置:任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性: 1%
旋涂均勻性: 1
旋涂工藝階段: 6 段
旋涂時間:單步工藝 0 180 0s 可根據 客戶需求 調節
整機尺寸( 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機功率: 40W
適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵參數:
型號: K W 550A/KW 550T
抽速: 1 .5 升 秒
功率: 3 20W
噪音: 50db
*低真空度: 700mmHg
重量: 7.3 Kg
尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min

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